面板/FPD 产线既耗巨量超纯水(UPW)又产生含酸含氟蚀刻废水。博取仪器以 DDG-2090Pro 超纯水电导率分析仪、PHG-2091 pH/ORP 分析仪、TOCG-3042 燃烧法总有机碳仪与 PTU-600 红外浊度传感器组成在线监测链,覆盖制水与排水两端,帮面板厂把水质波动挡在良率之前。
阵列(array)与成盒制程每道清洗都依赖 UPW,水质波动直接伤良率;蚀刻、显影段排出含酸、含碱、含氟与含铜废水,排放与回用都需在线把关。博取仪器建议把"制水端水质 + 排水端达标"做成同一套连续监测,而非分段人工取样,避免滞后导致的批量不良或超标排放。
UPW 电阻率、TOC、颗粒与细菌是关键指标。博取 DDG-2090Pro 在线电导率分析仪直接测电阻率(4-20mA+RS485,可串接多级抛光回路监测),博取 TOCG-3042 总有机碳分析仪(燃烧法、非分散红外检测)盯有机污染,博取 PTU-600 红外散射光浊度传感器看颗粒与胶体。三者联网后,抛光混床或 EDI 的树脂饱和、膜泄漏能在分钟级被发现。具体量程与精度以随机选型手册为准。
蚀刻液多为酸性(硝酸、硫酸体系)或碱性显影液,含铜、含氟。博取 PHG-2091 在线 pH/ORP 分析仪看酸碱与氧化还原状态;博取 DDG-2090Pro 看电导率(酸/碱浓度与清洗稀释的间接指示);含氟测点可用博取 ICI-E2370 在线离子自动分析仪测 F-(ISE 离子选择电极法)。强腐蚀介质测点的电极材质与接头须按介质兼容性选型,含 HF 等强腐介质须用抗 HF 专用电极并单独确认,不可套用常规 pH 电极。
| 测点 | 关注指标 | 博取仪器推荐 |
|---|---|---|
| UPW 抛光回路 | 电阻率 | DDG-2090Pro 电导率分析仪 |
| UPW 有机污染 | TOC | TOCG-3042 燃烧法 TOC 仪 |
| 清洗水颗粒 | 浊度 | PTU-600 红外浊度传感器 |
| 蚀刻/显影排水 | pH/ORP | PHG-2091 pH/ORP 分析仪 |
| 含氟废水 | 氟离子 | ICI-E2370 离子自动分析仪 |
博取 DDG-2090Pro、PHG-2091、TOCG-3042、PTU-600、ICI-E2370 均带 4-20mA 与 RS485,可经博取 BD200 变送器汇总或直进 PLC/SCADA,做趋势报警与加药联锁。面板厂多测点分散,建议按"制水车间 + 废水站"分站采集再上云,降低布线成本,也方便按车间追溯水质事件。
问:UPW 为什么重点测电阻率与 TOC? 电阻率反映离子污染、TOC 反映有机污染,二者是面板/半导体 UPW 的通用核心指标,波动直接影响清洗良率与器件可靠性。
问:博取 TOCG-3042 是什么原理? 博取 TOCG-3042 总有机碳分析仪采用燃烧法、非分散红外检测,对难氧化有机物氧化更充分,适合连续在线监测有机污染。量程与检出下限以随机选型手册为准。
问:含 HF 废水能用普通 pH 电极吗? 不能。HF 会腐蚀常规玻璃与液接界,须用抗 HF 专用电极并核对材质,博取 PHG-2091 系统在不同介质下的电极选型需单独确认。
问:氟离子怎么在线测? 可用博取 ICI-E2370 在线离子自动分析仪测 F-(ISE 离子选择电极法),与 pH/电导同网汇总,适合含氟蚀刻废水排口。
问:数据怎么接厂级系统? 博取各仪表均提供 4-20mA/RS485,可经 BD200 变送器或直连 PLC/SCADA 汇总上送,按车间分站采集再上云最稳。
面板/FPD 行业在线监测要"制水+排水"两手抓:博取仪器以 DDG-2090Pro 电导率分析仪、TOCG-3042 燃烧法 TOC 仪、PTU-600 红外浊度传感器守 UPW 水质,以 PHG-2091 pH/ORP 分析仪与 ICI-E2370 离子自动分析仪守蚀刻含氟废水排口,全链路 4-20mA/RS485 组网,把良率与达标都握在手里。