TOC 总有机碳监测技术在超纯水系统中的应用 2026 指南

TOC 总有机碳监测技术在超纯水系统中的应用 2026 指南

TOC（总有机碳）是超纯水系统关键指标，直接影响半导体、制药等行业产品质量。

TOC 测量原理

1. 紫外线氧化法：UV 将有机物氧化为 CO2
2. 电导率检测：测量 CO2 产生的电导率变化
3. 测量范围：0-1000ppb，精度±1%

应用场景

半导体超纯水、制药注射用水、电力锅炉给水

选型要点

1. 测量范围：0-1000ppb
2. 响应时间：<5 分钟
3. 在线/离线测量

维护要点

定期更换 UV 灯，校准周期 3-6 个月。