半导体行业在线离子监测技术与应用指南 2026

半导体行业在线离子监测技术与应用指南 2026

半导体超纯水对离子含量要求极高，在线离子监测是保障产品质量的关键。

离子监测指标

Na?, K?, Ca2?, Mg2?, Cl?, SO?2?等
检测限：ppt 级别（ng/L）

测量技术

1. IC（离子色谱法）
2. ICP-MS（电感耦合等离子体质谱）
3. 电导率法

选型要点

1. 检测范围：ppt-ppm
2. 响应时间：<10 分钟
3. 抗干扰能力

应用场景

半导体晶圆制造、集成电路生产、芯片清洗