完整的超纯水监测系统是半导体制造的质量保障关键。
1. 预处理单元 2. RO 反渗透 3. EDI 电去离子 4. 抛光混床 5. 终端过滤
进水电导率、产水 TOC、电阻率、颗粒物、细菌
PLC/SCADA 实时监控，自动报警，数据记录
