半导体超纯水电阻率监测技术与电极选型 2026 实践指南

半导体超纯水电阻率监测技术与电极选型 2026 实践指南

电阻率是超纯水最关键指标，半导体行业要求 18.25MΩ·cm 以上。

测量原理

电阻率 = 1/电导率，温度补偿至 25℃

电极选型

1. 电极常数：0.01cm?1（超纯水）
2. 材质：316L 不锈钢/钛合金
3. 防护：IP68

安装要点

流通式安装，避免气泡，远离泵和阀门

维护

定期清洁电极，校准周期 6-12 个月。